ファラデープローブ / ファラデーカップ（Faraday Probe / Faraday Cup）
ファラデープローブは、主にイオン電流密度の空間分布を測定します。プローブ走査により、総イオン電流、ビーム均一性、発散も得られます。パルスイオン源では、高速収集によりTOF到達時間を記録できます。
単一ファラデーカップ
単点のイオン電流密度測定による空間走査とビームプロファイル測定
XHINS-FPは、1つの空間位置でイオン電流密度を測定します。直線または回転機構がプローブを移動し、ビームプロファイル、均一性、発散を測定します。パルスイオン源では、校正したトリガーが時間原点を示します。システムは既知の飛行距離で I(t) を記録します。TOFデータからイオン速度分布を算出できます。イオン質量が既知の場合、システムは運動エネルギーも算出できます。
主な特長
- 1つの空間位置でイオン電流密度を測定
- 直線または回転機構により、ビームプロファイル、均一性、発散を測定
- 開口と電子抑制構造により、受入角と二次電子の影響を制御
- 高速電流前段、同期トリガー、既知の飛行距離によるTOF測定
主な仕様
| 項目 | 仕様 |
|---|---|
| 測定レンジ | pA – mA（カスタム可） |
| 開口/分解能 | 0.5–50 mm から選択 |
| 材質 | Cu / SS + スパッタ防止コーティング |
| インターフェース | KF / CF / カスタムフランジ |
ファラデープローブアレイ
多点のイオン電流密度を同期測定し、瞬態ビームとTOF到達も検出
アレイは、複数の空間位置でイオン電流密度を同時に測定します。線状または面状配置により、プローブを移動せずに空間ビームプロファイルを取得します。各チャネルは瞬態ビーム変化も記録できます。パルスイオン源では、同期トリガー、既知の飛行距離、高速収集により、複数位置のTOF到達時間を取得します。
主な特長
- 複数の空間位置でイオン電流密度を同時に測定
- 線状または面状配置によるビームプロファイル、均一性、差分解析
- ビーム強度と空間範囲に合わせたチャネル数とダイナミックレンジ
- パルストリガー、既知の飛行距離、高速収集による多点TOF測定
主な仕様
| 項目 | 仕様 |
|---|---|
| チャネル数 | 多チャネルアレイ（要件に応じカスタム） |
| 帯域 | DC – MHz（電子回路による） |
| 時間分解能 | 前段帯域幅、サンプリングレート、トリガージッターで決定 |
| レイアウト/サイズ | 線状 / 面状 / カスタム |