ファラデープローブ
ファラデープローブはイオンビーム/プラズマビームの電流密度と分布を直接測定します。単/双カップ構成で、推進器羽流やプラズマ源、プロセスビームの定量評価に利用できます。
単一ファラデーカップ
シンプルな構造で校正容易。単点ビームや総電流の計測に最適
XHINS-FP はプラズマ・イオンビーム診断向けに設計され、刻蚀装置のビーム均一性、EP の工質利用率とエネルギー損失、発散角、推力ベクトル偏心などを評価します。コンパクトで校正が容易なカップは電流/電流密度を単点で測定でき、リニア/回転ステージに載せれば走査でビームプロファイルを取得し、不均一性や発散源を特定できます。抑制グリッドにより二次電子の影響を低減し、定量精度を高めます。
主な特長
- イオン電流の直接測定と定量化（pA–mA レンジ）
- 走査対応：直線/回転ステージで空間マッピング可能
- 開口・マスクを調整し空間分解能と受入角を設定
- 冷却・高パワー対応、KF/CF/カスタムフランジで容易に統合
主な仕様
| 項目 | 仕様 |
|---|---|
| 測定レンジ | pA – mA（カスタム可） |
| 開口/分解能 | 0.5–50 mm から選択 |
| 材質 | Cu / SS + スパッタ防止コーティング |
| インターフェース | KF / CF / カスタムフランジ |
ファラデープローブアレイ
多チャネル同時計測で瞬時の空間分布を把握
複数コレクタを持つアレイで同時サンプリングを行い、瞬時の空間分布や高速に変化するビーム構造を捉えます。線状・面状レイアウトと高速エレクトロニクスにより、パルスやノイズ環境でも時間分解したプロファイルを取得できます。
主な特長
- 多チャネル同時サンプリングで瞬態分布を捕捉
- アレイ配置で高分解プロファイルと差分解析が可能
- チャネル数とダイナミックレンジを拡張し強/弱ビームに対応
- 高速サンプリング電子回路と組み合わせ、パルス・瞬態解析に対応
主な仕様
| 項目 | 仕様 |
|---|---|
| チャネル数 | 多チャネルアレイ（要件に応じカスタム） |
| 帯域 | DC – MHz（電子回路による） |
| 同期性 | ns–μs クラス（電子回路による） |
| レイアウト/サイズ | 線状 / 面状 / カスタム |