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微小推力計測・羽流診断・統合検証フロー
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エッチング・成膜・洗浄向けのプラズマ監視と最適化
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イオン源とパラメータ最適化で処理再現性を向上
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研究プラットフォーム向け標準化診断とデータ再利用
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単/双/三探針・エミッシブプローブで電子密度・温度などを計測
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イオン電流密度やプラズマ羽流分布を計測
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イオンのエネルギー・速度分布を測定
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イオンエネルギー分布や羽流発散角を測定
非接触光学診断システム
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プラズマ発光スペクトル、粒子密度、励起温度の測定
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イオン/中性粒子の速度分布や温度を測定
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高精度な電子密度・電子温度計測
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DC グリッド型イオン源、エッチングやコーティング工程向け
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高比推力・長寿命の電気推進用コア
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RF 結合プラズマ源、表面処理向け
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高電離・高エネルギーの金属イオンビームで硬質膜に適用
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電気推進器試験向けの高精度微小推力計測
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推力計や探針の校正サービス