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微小推力計測・羽流診断・統合検証フロー
- 半導体製造ソリューション
エッチング・成膜・洗浄向けのプラズマ監視と最適化
- 表面改質ソリューション
ビーム診断とパラメータ最適化で処理再現性を向上
- 研究開発ソリューション
研究プラットフォーム向け標準化診断とデータ再利用
診断アプリケーション事例
- 診断アプリケーション事例
- ホールスラスタ総合診断システム
システムはプルーム電流、イオンエネルギー、イオン種、推力を測定します。自動スキャンは運転条件と性能の関係を表示します。
接触式診断装置
- XHINS-LP ラングミュアプローブ
単/双/三探針・エミッシブプローブで電子密度・温度などを計測
- XHINS-FP ファラデープローブ / ファラデーカップ
イオン電流密度やプラズマ羽流分布を計測
- XHINS-ExB プローブ / ウィーンフィルタ / 粒子速度選択器
イオンのエネルギー・速度分布を測定
- XHINS-RPA 減速電位アナライザ / イオンエネルギーアナライザ（RPA / RFEA）
イオンエネルギー分布や羽流発散角を測定
非接触光学診断システム
- XHINS-OES 発光分光診断
プラズマ発光スペクトル、粒子密度、励起温度の測定
- XHINS-LIF レーザー誘起蛍光
イオン/中性粒子の速度分布や温度を測定
- XHINS-TS トムソン散乱
高精度な電子密度・電子温度計測
マイクロ推力計
- XHINS-TB 捩れ振り子型推力計
電気推進器試験向けの高精度微小推力計測
- XHINS-EMB 電磁バランス型推力計
高速応答の推力計測
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推力計や探針の校正サービス