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接触式診断装置
- XHINS-LP ラングミュアプローブ
単/双/三探針・エミッシブプローブで電子密度・温度などを計測
- XHINS-FP ファラデープローブ
イオン電流密度やプラズマ羽流分布を計測
- XHINS-ExB ウィーンフィルタ／ExB プローブ
イオンのエネルギー・速度分布を測定
- XHINS-RPA 減速電位アナライザ
イオンエネルギー分布や羽流発散角を測定
非接触光学診断システム
- XHINS-OES 発光分光診断
プラズマ発光スペクトル、粒子密度、励起温度の測定
- XHINS-LIF レーザー誘起蛍光
イオン/中性粒子の速度分布や温度を測定
- XHINS-TS トムソン散乱
高精度な電子密度・電子温度計測
プラズマ源
- XHINS-KIS カウフマンイオン源
DC グリッド型イオン源、エッチングやコーティング工程向け
- XHINS-HT ホールスラスタ
高比推力・長寿命の電気推進用コア
- XHINS-RFIS RF イオン源
RF 結合プラズマ源、表面処理向け
- XHINS-CA カソードアーク源
高電離・高エネルギーの金属イオンビームで硬質膜に適用
マイクロ推力計
- XHINS-TB 捩れ振り子型推力計
電気推進器試験向けの高精度微小推力計測
- XHINS-EMB 電磁バランス型推力計
高速応答の推力計測
- 校正サービス
推力計や探針の校正サービス