カソードアークプラズマ源 (XHS‑CAIS)

固体金属工質で高電離率・高フラックスの金属イオンビームを生成。コーティングや表面エンジニアリングに最適。

カソードアーク源 XHS‑CAIS

高フラックス金属イオンビーム、交換可能なターゲット

陰極を蒸発・電離して高フラックスの金属イオンビームを生成し、薄膜堆積や表面改質、研究用途に提供。コンパクト設計でターゲット交換と冷却が可能、工程条件を調整できます。