試験目標に合わせて製品とサービスを連携
ソリューションはお客様の試験目標を起点とします。一つの計測課題に対して診断製品、校正、データ収集、システム統合、技術サービスを連携します。
01プルーム診断 · 推力計測
プルーム診断 · 推力計測 · 地上試験電気推進
プルーム診断と微小推力計測を一つの試験システムに統合します。
地上試験向けに微小推力計測と羽流診断を統合したエンドツーエンド構成。
製品構成
ラングミュアプローブファラデープローブ減速電位アナライザ RPA / RFEAE×B プローブ微小推力計
システム能力
- プルーム特性、イオンエネルギー、イオン価数、電流密度を計測します。
- 定常および過渡の微小推力を計測します。
- 校正、駆動、データ収集、解析を連携します。
02チャンバー診断 · プロセスデータ
エッチング · 成膜 · チャンバー診断半導体製造
チャンバー内のプラズマを計測し、プロセス条件を比較します。
エッチング・成膜・洗浄プロセスのための追跡可能な等離子体診断。
製品構成
ラングミュアプローブ発光分光 OESデータ収集
システム能力
- 電子パラメータと発光スペクトルを計測します。
- 異なる運転点のチャンバー状態を比較します。
- 各チャンバーに合わせてプローブと光路を構成します。
03ビーム計測 · 表面処理
イオンビーム · 薄膜 · 均一性表面改質
表面処理前にビームエネルギー、電流、均一性を計測します。
イオン源とプロセスウィンドウ最適化で処理の再現性を向上。
製品構成
ファラデープローブ減速電位アナライザ RPA / RFEAE×B プローブKaufman と Hall イオン源
システム能力
- イオン源と真空インターフェースを構成します。
- ビーム電流と均一性を計測します。
- イオンエネルギーとイオン価数を計測します。
04システム統合 · データ解析
プラットフォーム構築 · 複合計測 · 手法開発研究開発
診断ハードウェア、ソフトウェア、駆動、解析を一つの研究プラットフォームに統合します。
研究プラットフォーム向けの再利用可能な計測フローとデータ基盤。
製品構成
接触式診断OES / LIF / トムソン散乱プラズマ源試験プラットフォーム
システム能力
- システム構成を設計します。
- 接触式診断と光学診断を連携します。
- 駆動、データ収集、解析を統合します。
技術相談製品選定、システム設計、試験サービスについて技術チームにお問い合わせください。
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