電気推進

推進機の研究開発、検証、試験基盤構築に向けて、方案設計、システム導入、校正・立上げ、データ解析出力までをまとめて提供します。

地上試験向けに微小推力計測と羽流診断を統合したエンドツーエンド構成。

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半導体製造

チャンバー内状態監視、主要変数のモデル化、ロット間ばらつき抑制を支援します。

エッチング・成膜・洗浄プロセスのための追跡可能な等離子体診断。

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表面改質

基材・膜特性に応じてイオンエネルギー、フラックス、均一性を最適化します。

イオン源とプロセスウィンドウ最適化で処理の再現性を向上。

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研究開発

複数テーマで再利用できる計測手順、データ構造、追跡性を整備します。

研究プラットフォーム向けの再利用可能な計測フローとデータ基盤。

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