用途別に診断機器・試験フロー・納入方式を整理し、立ち上げリスクを抑えながら評価を高速化します。
地上試験向けに微小推力計測と羽流診断を統合したエンドツーエンド構成。
エッチング・成膜・洗浄プロセスのための追跡可能な等離子体診断。
イオン源とプロセスウィンドウ最適化で処理の再現性を向上。
研究プラットフォーム向けの再利用可能な計測フローとデータ基盤。
