ラングミュアプローブ
、、、、 を取得。単/双/三/エミッシブ探針と RF フィルタ・冷却・三次元ステージを選択可能。
🔬 虚拟仪器在线演示
体验朗缪尔探针诊断流程 · 实时生成 I-V 曲线 · 支持 4 种探针模式
単一ラングミュアプローブ (XHINS-SLP)
汎用プラズマ診断、複数形状に対応
I–V 掃引で電子/イオン密度、電子温度、プラズマ/浮遊電位、 を測定。円柱/平面/球型を選択でき、RF フィルタ、冷却、3D モーションに対応。
主な特長
- , , , , , を測定
- 形状:円柱/平面/球型
- スキャン:リニア/三角/ステップ、自動スキャンと平均
- 材料 W/Mo/Ta、シース Al2O3/BN/石英、モーションプラットフォーム対応




主な仕様
| 項目 | 仕様 |
|---|---|
| バイアス範囲 | ±200 V(拡張可) |
| 電流 | 10 pA – 100 mA |
| 探針径 | 0.1–1.0 mm(カスタム可) |
| モーション/接口 | 直線/回転/3D、KF/CF フランジ |
ダブルプローブ (XHINS-DLP)
自前のリファレンスで浮遊/ノイズ環境に強い
二本の探針を対称バイアスして 、、、 を取得。グラウンドが遠い/無い環境(大気射流、浮遊デバイス、強干渉)に適する。
主な特長
- 接地依存を低減し耐ノイズ性向上
- , , 測定、後処理で
- リニア/三角/ステップ掃引、自動モード対応
- 高感度電流チェーンと多様なシースを選択可




主な仕様
| 項目 | 仕様 |
|---|---|
| バイアス範囲 | ±200 V(拡張可) |
| 電流レンジ | pA – mA |
| 探針サイズ | 0.1–1.0 mm(カスタム可) |
| 形状/接口 | 円柱/平面/球型、直線/回転/3D、KF/CF |
三探針システム (XHINS-TLP)
三チャネル同時取得で瞬態を高時間分解
同一サイズの三探針を同期取得し、放電サイクル内の瞬態 、 を捕捉。パルス放電や推進器の瞬間応答に最適。
主な特長
- 三チャネル同期で瞬態/パルス計測
- 完全な I–V 掃引依存を低減し高速サンプリング
- 外部トリガ/クロック同期に対応
- 高帯域・フィルタオプションで SNR 改善



主な仕様
| 項目 | 仕様 |
|---|---|
| バイアス方式 | 固定ネットワーク/プログラム制御 |
| 時間分解能 | ≤ ms(前段次第で μs) |
| 電流レンジ | pA – mA |
| チャネル/同期 | 3ch 以上、同期・トリガ対応 |
エミッシブプローブ (XHINS-EP)
高 SNR でプラズマ電位と電子温度を測定
エミッシブはプラズマ電位/電子温度に高精度。細かな電位分布が必要な診断に適し、電位/温度マップの可視化出力も可能。
主な特長
- 高精度の と
- 標準 LP より高い SNR と電位分解能
- 各種構造・材料に対応し、高温/複雑流にも設置可
- 電位/温度の可視化マップ出力



主な仕様
| 項目 | 仕様 |
|---|---|
| 測定パラメータ | 、 |
| レンジ | 電流 pA–mA / 電圧 ±200 V |
| 分解能 | 空間/エネルギー分解能はカスタム可 |
| インターフェース | KF / CF / カスタム;DAQ 同期 |
