発光分光（OES）
非接触スペクトル診断で種別認識と温度/密度推定を行い、オンライン監視や研究に活用。
主な特長
- 非侵入でプラズマを乱さない
- 原子/分子/イオン種を識別し温度・密度を推定
- リアルタイムでエンドポイント検出や品質管理に対応
- 低コストで統合しやすく、自動レポートに対応
主な仕様
| 項目 | 仕様 |
|---|---|
| 波長範囲 | 200 – 1100 nm（カスタム可） |
| スペクトル分解能 | 0.1 nm 以下（回折格子/スリット依存） |
| 検出器 | 高感度 CCD/CMOS（ライン/エリア） |
| 光ファイバ | SMA905 |
| ソフトウェア | 線識別、強度解析、温度推定、データ出力 |