減速電位アナライザ（RPA / RFEA）
イオンエネルギー分布とフラックスを計測し、表面処理・イオンビームエッチング・推進器能譜解析に利用。
減速電位アナライザ (XHINS-RPA)
高分解のイオンエネルギー・フラックス診断
可変阻止格子とエネルギー選択コレクタで とフラックスを測定。ステップ/リニア掃引と低ノイズ前段に対応し、低/高フラックス、推進器ビーム、プロセス能譜評価に適します。
主な特長
- イオンエネルギー分布 () とフラックスを測定
- 可変阻止格子でステップ/リニア掃引が可能
- 低ノイズ前段で pA〜mA をカバー
- 冷却・高パワー版が選択可、スキャン/アレイと組み合わせ容易
主な仕様
| 項目 | 仕様 |
|---|---|
| エネルギー範囲 | 0 – 数 keV（上限カスタム可） |
| 電流レンジ | pA – mA（高精度検出） |
| エネルギー分解能 | ≤ 1 eV（格子設計による） |
| インターフェース | KF / CF / カスタムフランジ |