プルーム特性解析の難しさ
電子密度・電子温度・空間電位の分布は真空プルーム内で急変し、プローブ寸法や材質、RF結合の影響で測定誤差が生じやすくなります。

複雑な真空環境と多様な外乱の下では、寄せ集めの試験系は効率とトレーサビリティの確保が困難です。
電子密度・電子温度・空間電位の分布は真空プルーム内で急変し、プローブ寸法や材質、RF結合の影響で測定誤差が生じやすくなります。
mN/μN レベルの推力計測は熱ドリフト、ポンプ振動、ケーブルトルクの影響を受けやすく、再現性の確保が難しくなります。
位置決め機構、DAQ、解析アルゴリズムが別ベンダー製の場合、インターフェースや同期系の不一致で立ち上げ・回帰に時間がかかります。
ハード、位置決め機構、収集系、後処理アルゴリズムを協調設計し、立ち上げ期間を短縮します。
低推力条件向けに、広レンジ計測と能動除振・閉ループ補償を組み合わせた推力計測プラットフォームです。
ラングミュアプローブ、ファラデーカップ、RPA を統合し、多工質プルームのパラメータ抽出に対応します。
高密度領域や長期試験向けに、プローブ損耗と流場への干渉を抑える設計です。
リアルタイム監視、プローブ位置マトリクス制御、自動フィッティング結果出力をサポートし、手作業の後処理負荷を低減します。
試験対象と主要パラメータ要件を送信してください。24時間以内にご提案します。