阴极弧等离子源（XHS‑CAIS）
固体金属工质，高电离率、高通量金属离子束，适配沉积与表面工程。
阴极弧等离子源 XHS‑CAIS
高通量金属离子束生成，支持多靶材与长时运行
通过阴极蒸发并电离金属靶，产生高通量金属离子束，用于薄膜沉积、表面改性和科研平台。结构紧凑，靶材可更换，支持冷却与可调工艺参数。
核心特性
- 多种金属靶材可选，兼容 Cu/Ti/Al 等
- 高通量金属离子束，适合沉积与表面改性
- 模块化靶更换与冷却方案，支持长时间运行
- 可与 Faraday/RPA/LP 联用进行束流诊断
关键规格
| 项目 | 参数 |
|---|---|
| 材料兼容 | 多种金属（按靶材定制） |
| 束流密度 | 高至 mA/cm²（视孔径与工况） |
| 冷却/耐久 | 强制冷却/可替换阴极 |
| 接口 | KF / CF / 定制法兰 |