星焓科技 · StarThermaTech
围绕试验目标连接产品与服务
星焓解决方案从您的试验目标出发，针对一项测量任务，连接诊断产品、标定、数据采集、系统集成和技术服务
01羽流诊断 · 推力测量
羽流诊断 · 推力测量 · 地面试验空间电推进
连接羽流诊断与微推力测量，覆盖推进器地面试验。
面向推力器地面验证的微推力与羽流诊断全链路能力。
产品组合
朗缪尔探针法拉第探针 / 法拉第杯阻滞能量分析仪 / 离子能量分析仪（RPA / RFEA）ExB 探针 / 韦恩过滤器 / 粒子速度选择仪微推力架
系统能力
- 测量羽流参数、离子能量、离子价态和电流密度。
- 测量稳态与瞬态微推力。
- 连接标定、运动、采集和分析。
02腔室诊断 · 工艺数据
刻蚀 · 沉积 · 腔室诊断半导体制造
测量腔室等离子体，对比不同工艺状态。
围绕刻蚀、沉积与清洗工艺建立可追溯的等离子体诊断流程。
产品组合
朗缪尔探针发射光谱 OES数据采集
系统能力
- 测量电子参数和发射光谱。
- 对比不同工作点的腔室状态。
- 根据腔室配置探针和光路。
03束流测量 · 表面处理
离子束 · 薄膜 · 均匀性材料表面改性
测量材料处理前的束流能量、电流和均匀性。
聚焦束流诊断与工艺窗口优化，提高改性一致性与效率。
产品组合
法拉第探针 / 法拉第杯阻滞能量分析仪 / 离子能量分析仪（RPA / RFEA）ExB 探针 / 韦恩过滤器 / 粒子速度选择仪
系统能力
- 配置诊断设备和真空接口。
- 测量束流电流和均匀性。
- 测量离子能量和离子价态。
04系统集成 · 数据分析
平台建设 · 联合测量 · 方法开发科研与研发
连接诊断硬件、软件、运动和分析，建设实验室平台。
针对多学科实验平台提供高复用诊断链路与数据分析支撑。
产品组合
接触式诊断OES / LIF / 汤姆逊散射测试平台
系统能力
- 制定系统架构。
- 连接接触式与光学诊断。
- 集成运动、采集和分析。
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