围绕不同应用场景组织测试链路、诊断设备与交付流程,减少联调成本并提高结果可复用性。
面向推力器地面验证的微推力与羽流诊断全链路能力。
围绕刻蚀、沉积与清洗工艺建立可追溯的等离子体诊断流程。
聚焦离子源与工艺窗口优化,提高改性一致性与效率。
针对多学科实验平台提供高复用诊断链路与数据分析支撑。