星焓科技

空间电推进

面向推进器研发、性能验证和平台建设,提供方案设计、系统部署、标定联调与数据输出。

面向推力器地面验证的微推力与羽流诊断全链路能力。

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半导体制造

覆盖反应腔体内等离子体状态监测、关键参数建模与批次一致性评估。

围绕刻蚀、沉积与清洗工艺建立可追溯的等离子体诊断流程。

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材料表面改性

针对不同材料与目标膜层,优化离子能量、通量与处理均匀性。

聚焦离子源与工艺窗口优化,提高改性一致性与效率。

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科研与研发

为多课题并行实验提供可复用测量流程、统一数据结构与结果追溯能力。

针对多学科实验平台提供高复用诊断链路与数据分析支撑。

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