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解决方案
- 空间电推进解决方案
覆盖微推力测量、羽流诊断与系统联调的测试链路
- 半导体制造解决方案
面向刻蚀、沉积、清洗流程的等离子体参数监测与优化
- 材料表面改性解决方案
通过离子源与参数反演提升改性效率与一致性
- 科研与研发解决方案
支持多课题实验平台的标准化诊断与数据复用
接触式诊断仪器产品
- XHINS-LP系列朗缪尔探针 (Langmuir Probes)
单探针、双探针、三探针及发射探针，测量电子密度、电子温度等
- XHINS-FP系列法拉第探针 (Faraday Probes)
测量离子流密度、离子束电流密度分布等
- XHINS-ExB系列E×B探针 (E×B Probes)
测量离子能量分布、离子速度分布等
- XHINS-RPA系列延迟势分析仪 (Retarding Potential Analyzer)
测量离子能量分布、离子束发散角等
非接触式诊断（光学类）系统
- XHINS-OES系列发射光谱诊断系统 (Optical Emission Spectroscopy)
测量等离子体发射光谱、粒子密度、激发温度等
- XHINS-LIF系列激光诱导荧光诊断系统 (Laser-Induced Fluorescence)
测量离子/中性粒子速度分布、温度分布等
- XHINS-TS系列汤姆逊散射诊断系统 (Thomson Scattering)
高精度测量电子密度、电子温度分布等
等离子源
- XHINS-KIS系列考夫曼离子源 (Kaufman Ion Source)
直流栅极型离子源，适用于刻蚀、镀膜等工艺
- XHINS-HT系列霍尔推力器 (Hall Thruster)
电推进系统核心部件，高比冲、长寿命
- XHINS-RFIS系列射频等离子源 (RF Ion Source)
射频耦合等离子体源，适用于材料表面处理
- XHINS-CA系列阴极弧等离子源 (Cathode Arc Source)
高电离率、高能量粒子束，适用于硬质薄膜沉积
微推力架产品
- XHINS-TB系列扭摆式微推力架 (Torsion Balance Thrust Stand)
高精度微推力测量，适用于电推进器性能测试
- XHINS-EMB系列电磁平衡微推力架 (Electromagnetic Balance Thrust Stand)
实时推力测量，响应速度快
- 标定服务 (Calibration Service)
推力架标定、探针校准等专业服务