考夫曼等离子源（Kaufman Ion Source）
成熟的离子源方案，支持惰性/工质气体，适配科研与工艺束流。
考夫曼等离子源 XHS-KFIS
稳定、可定制的离子束生成方案
XHS-KFIS 适用于材料处理、薄膜沉积与推进器试验台架。支持多种气体工质、可调提取/加速电压、可选中和器与冷却，满足长时运行与束流诊断。
核心特性
- 支持 Ar / Xe / N₂ 等惰性及工质气体
- 提取/加速电压可调，便于工艺参数扫描
- 可选中和器与冷却方案，支持长时间运行
- 接口与束斑可定制，便于真空腔与诊断集成
关键规格
| 项目 | 参数 |
|---|---|
| 能量范围 | 几十 eV – kV 级（可定制） |
| 束流密度 | mA/cm² 级（视束斑/孔径） |
| 接口 | KF / CF / 定制法兰 |
| 冷却 | 被动 / 强制冷却可选 |