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发射光谱(OES)
非侵入式光谱诊断,识别粒子种类并估算温度/密度,支持在线监测与研究。
核心特性
非侵入式,不干扰等离子体
识别原子/分子/离子物种,估算温度与相对密度
实时性好,可做终点检测与质量控制
成本低、易集成,支持自动报告
关键规格
项目
参数
波长范围
200 – 1100 nm(可定制)
光谱分辨率
优于 0.1 nm(视光栅/缝宽)
探测器
高灵敏 CCD/CMOS(线阵或面阵)
光纤接口
SMA905
软件功能
谱线识别、强度分析、温度估算、数据导出
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