阻滞能量分析仪（Retarding Potential Analyzer / RFEA）
用于测量离子能量分布与通量，常见于材料表面处理、离子束刻蚀与推进器束流能谱分析。
阻滞能量分析仪 (XHINS-RPA)
高分辨离子能量分布与通量测量方案
XHINS-RPA 通过可调阻滞偏压栅与能量选择收集面，测量 与离子通量，支持阶跃/线性扫描和低噪声前端，适合高低通量场景、推进器束流与工艺能谱评估。
核心特性
- 测量离子能量分布（）与离子通量
- 可调阻滞偏压栅，支持阶跃/线性扫描能谱
- 低噪声前端，兼顾 pA 级低通量与 mA 级高通量
- 可选冷却/高功率版本，易与扫描机构或阵列组合
关键规格
| 项目 | 参数 |
|---|---|
| 能量范围 | 0 – 若干 keV（可定制上限） |
| 电流量程 | pA – mA（高精度检测） |
| 能量分辨 | ≤ 1 eV（视栅设计） |
| 接口 | KF / CF / 定制法兰 |