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扭摆式推力计
高灵敏度微推力计,适合 μN–mN 级稳态/缓变推力测量。
核心特性
灵敏度高,适用 μN–mN 稳态/缓变推力
结构成熟,测量可靠,可静电/电磁原位标定
可选激光干涉、差分电容、LVDT 读出
可配热补偿,真空兼容设计
关键规格
项目
参数
推力范围
1 μN – 100 mN(可定制)
分辨率
优于 1% 满量程(典型,依读出链路)
读出
激光干涉 / 差分电容 / LVDT(可选)
标定方式
静电梳齿 / 电磁线圈 / 砝码
真空兼容性
< 10^-3 Pa(可定制)
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