星焓科技

等离子体参数

气体

电子温度 Te (eV)

电子密度 ne (m^-3)

等离子体电位 Vp (V)

离子温度 Ti (eV, 可选)

扫描设置

Vmin (V)

Vmax (V)

数据点数

真实性调节

噪声 (%)

漂移 (%)

射频纹波

I-V 特性曲线

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