StarThermaTech

Зонд Фарадея

Зонды Фарадея напрямую измеряют плотность тока и пространственное распределение ионных/плазменных пучков. Варианты — одиночный и двухчашечный — для количественной оценки шлейфов, источников и технологических пучков.

Одиночный зонд Фарадея

Простая конструкция и быстрая калибровка для точечных и интегральных измерений

Система XHINS-FP создана для диагностики плазмы и ионных пучков: измеряет распределение ионного тока, оценивает однородность пучка в травлении, использование пропелланта и энергопотери в ЭРД, расходимость и смещение вектора тяги. Компактная чашка легко калибруется, подходит для точечного тока и плотности. На линейных/поворотных приводах выполняет пространственное сканирование и профилирование для поиска неоднородности и источников расходимости. Подавляющие сетки уменьшают влияние вторичных электронов и повышают точность.

Ключевые особенности

  • Прямое измерение ионного тока и его количественный анализ (диапазон pA–mA)
  • Готовность к сканированию: линейные/поворотные механизмы для пространственных карт
  • Регулируемые апертуры/маски для разрешения и угла приема
  • Охлаждение/высокая мощность, фланцы KF/CF/кастом для интеграции

Ключевые характеристики

ПараметрЗначение
ДиапазонpA – mA (кастомизация)
Апертуры / разрешение0.5–50 мм (опции)
МатериалыCu / SS + антиспаттерное покрытие
ИнтерфейсыKF / CF / кастомные фланцы

Массив зондов Фарадея

Многоканальная синхронная регистрация для мгновенных профилей

Массив объединяет несколько коллекторов для одновременных каналов, фиксируя переходные пространственные распределения и быстро меняющуюся структуру пучка. Линейные или плоскостные раскладки с высокоскоростной электроникой дают временнó разрешенные профили в импульсных и шумных режимах.

Ключевые особенности

  • Синхронный мультиканал для трансienta и пространственных профилей
  • Макеты массива для высокодетализированных профилей и дифференциального анализа
  • Масштабируемое число каналов и динамический диапазон под сильные/слабые пучки
  • Совместно с высокоскоростной электроникой для импульсных/переходных режимов

Ключевые характеристики

ПараметрЗначение
Число каналовМногоканальный массив (под заказ)
ПолосаDC – MHz (зависит от электроники)
Синхронностьns–μs (зависит от электроники)
Схема и размерЛинейный / планарный / кастом