Продукты и услуги
Контактная диагностика
Прямое введение зонда в плазму для измерения ключевых параметров.
XHINS-LP зонды Ленгмюра
Автоскан I–V для ключевых параметров; одиночный/двойной/тройной/эмиссионный зонд.
- Плотность электронов (), ионов ()
- Температура электронов ()
- Потенциал плазмы (), плавающий потенциал (), электронно-энергетическая функция (EEDF)
XHINS-FP зонд Фарадея / чашка Фарадея
Измеряет пространственное распределение плотности ионного тока при сканировании зондом. Данные также дают полный ионный ток, однородность и расходимость пучка. Для импульсного источника известная длина пролета, калиброванный ноль времени и быстрый сбор данных дают время прихода TOF.
- Пространственное распределение плотности ионного тока
- Полный ионный ток, однородность и угол расходимости пучка
- Импульсная форма тока и распределение времени прихода TOF
XHINS-EBP ExB-зонд / фильтр Вина / селектор скорости частиц
Использует скрещенные электрическое и магнитное поля для фильтрации ионов по отношению заряда к массе, точно измеряя доли зарядных состояний и распределения скоростей для диагностики состава шлейфа.
- Доли зарядных состояний ионов (Xe⁺, Xe²⁺, Xe³⁺ и т.д.)
- Распределение скоростей (IVDF)
- Идентификация примесей в шлейфе
Анализатор энергии ионов (RPA: Retarding Potential Analyzer / RFEA: Retarding Field Energy Analyzer)
Анализатор изменяет задерживающее напряжение в заданном диапазоне и регистрирует ток коллектора. Кривая задерживания дает спектр энергии ионов на заряд. Этот спектр является основным результатом. Для повторяемых импульсных источников синхронные измерения I(t) при фиксированных напряжениях дают временные спектры. В системах TOF с энергетическим разрешением RPA обеспечивает выбор энергии.
- Спектр энергии ионов на заряд (E/q)
- Кривая задерживания, пик спектра и ширина энергетического распределения
- Временные спектры и выбор энергии для систем TOF
| Тип продукта | Основные выходные параметры | Задача измерения |
|---|---|---|
| Зонды Ленгмюра | ||
| Одиночный зонд | Плотность ионов (), плотность электронов (), температура электронов (), потенциал плазмы (), плавающий потенциал (), функция распределения энергии электронов (EEDF) | Стационарные измерения и пространственное сканирование низкотемпературной плазмы |
| Двойной зонд | Плотность электронов (), температура электронов () | Струи плазмы атмосферного давления, установки без опорного заземления и разряды с сильными помехами |
| Тройной зонд | Плотность электронов (), температура электронов () | Временные измерения импульсных разрядов и переходных режимов двигателя |
| Эмиссионный зонд | Потенциал плазмы () | Измерение потенциала плазмы в слоях, пристеночных областях и шлейфах двигателей |
| Другие плазменные зонды | ||
| Магнитный зонд | Магнитное поле (B) | Магнитное удержание плазмы или оптимизация магнитной конфигурации двигателя |
| Зонд Фарадея | Пространственное распределение плотности ионного тока, полный ионный ток и время прихода TOF | Сканирование шлейфа, оценка однородности пучка и TOF импульсных ионных источников |
| Сбор частиц и анализаторы энергии | ||
| E×B зонд | Состав ионов, распределение скорости | Ионный состав шлейфа двигателя, мониторинг примесей |
| Ретардирующий энергетический анализатор (RPA / RFEA) | Кривая задерживания, спектр энергии ионов на заряд (E/q) и собранный ионный ток | Сканирование задерживающего напряжения для измерения спектра энергии ионов на заряд, анализ энергетической ширины, временные спектры и выбор энергии для систем TOF |
Оптическая диагностика
Дистанционные измерения по самосвещению и взаимодействию света с веществом; высокая селективность и пространственно-временное разрешение.
Оптическая эмиссионная спектроскопия (OES)
Определение состава, плотности, оценка возбуждения/температуры электронов.
- Идентификация частиц
- Температура возбуждения / электронов (по модели)
- Мониторинг процесса и стабильности
Лазерно-индуцированная флуоресценция (LIF)
Селективное возбуждение настраиваемым лазером для измерения плотности и скорости.
- Плотность целевых частиц
- Распределение скорости (VDF / IVDF)
- Температура частиц
Томсоновское рассеяние
Измерение спектра упругого рассеяния электронов для получения температуры и плотности.
- Температура электронов ()
- Плотность электронов ()
| Метод диагностики | Результаты диагностики | Задача измерения |
|---|---|---|
| Спектроскопическая и лазерная диагностика | ||
| Эмиссионная спектроскопия (OES) | Идентификация излучающих частиц; модельные оценки температуры возбуждения, температуры электронов и относительной плотности | Контроль состояния и однородности разряда; обнаружение конца процесса |
| Лазерно-индуцированная флуоресценция (LIF) | Плотность целевых частиц после калибровки, распределение скорости (VDF / IVDF) и температура | Поле скоростей шлейфа двигателя и диагностика следовых частиц |
| Томсоновское рассеяние (Thomson) | Температура электронов () и плотность электронов () | Измерение электронных параметров лабораторной плазмы и установок с магнитным удержанием |
Плазменные источники
Стабильные управляемые ионные источники для лабораторий, наземных ЭРД-систем и линий травления/обработки; комплектуются оптикой решеток, нейтрализаторами и регулировкой пучка.
XHINS-KF источники Кауфмана
Камера ионизации с пористым анодом и нейтрализатором; широкий диапазон энергии для наземных стендов и исследований пучка.
- Энергия: 50–1500 eV (кастомизация)
- Плотность тока пучка: до мА/см²
- Газы: Ar / Xe / N₂ и др.
XHINS-HS холловские плазменные источники
E×B дрейфовый разряд, компактная конструкция; для ресурсных испытаний ЭРД и прототипов.
- Напряжение разряда: 150–600 В (тип.)
- Высокий thrust-to-weight и эффективность
- Совместимость с инертными газами
XHINS-CA катодные дуговые источники
Испарение и ионизация катода с выдачей высокотокового металл-ионного пучка для материаловедения и покрытий.
- Энергия: ~50–200 eV (расширяется смещением)
- Высокий ток пучка (импульс/стационар)
- Материалы катодов: различные металлы
XHINS-RF RF/ICP плазменные источники
RF-связанный, без DC-электродов, чистый и малоповреждающий источник для травления/очистки и исследований.
- Частота: 13.56 МГц (кастомизация)
- Высокая плотность, низкая энергия пучка
- Окна: кварц / Al₂O₃ и др.
| Тип плазменного источника | Ключевые параметры | Назначение и условия испытаний |
|---|---|---|
| XHINS-KF система плазменного источника Кауфмана |
|
|
| XHINS-HS система холловского ионного источника (Hall Source) |
|
|
| XHINS-CA система катодного дугового плазменного источника |
|
|
| XHINS-RF система радиочастотного плазменного источника (RF/ICP) |
|
|
| XHINS-ECR система ECR плазменного источника |
|
|
Стенды микротяги
Готовые стенды для малотяговых двигателей и плазменных источников: платформа, инструменты калибровки и ПО испытаний для вакуума и длительных прогонов.
XHINS-TTS крутильные весы для тяги
Высокочувствительная крутильная схема для стационарной и медленно меняющейся тяги.
- Разрешение / контроль дрейфа
- Цепочка считывания смещения/угла
- Компенсация тепла и выхлопного момента
XHINS-ETS электромагнитный стенд тяги
Электромагнитная/электростатическая балансировка с замкнутым контуром и быстрой калибровкой; mN-уровень длительной тяги.
- Линейность обратной связи по силе
- Полоса и шум
- Вакуумные вводы и тепловой менеджмент
Калибровка, демпфирование, компенсация, обратная связь и сенсоры
DAQ, ПО обработки и инструменты неопределенности для поставки стенда.
- Идентификация системы и калибровка
- Модель неопределенности
- Отчет приемки (с исходными данными)
| Продукт или модуль | Основная спецификация или функция | Задача измерения |
|---|---|---|
| Платформа стенда тяги (Thrust Stand) | ||
| XHINS-TTS крутильный стенд микротяги (Torsional Thrust Stand) | Диапазон 1 μN – 100 mN, разрешение < 0.5 μN | Ориентирован на задачи разработки бестяговых двигателей, применим для сценариев сверхмалой тяги, таких как электроспрей |
| XHINS-ETS электромагнитный балансный стенд микротяги (Electromagnetic Thrust Stand) | Диапазон 10 μN – 1 N, замкнутая отрицательная обратная связь для подавления вибраций | Длительные стационарные испытания холловских/ионных двигателей, интегрирование импульсной тяги |
| Вспомогательное аппаратное и программное обеспечение | ||
| Модуль считывания смещения/силы | Лазерная интерферометрия/растровое смещение + малошумящий усилитель | Вывод высокочастотных форм волн смещения и чистой тяги для последующей обработки |
| Программное обеспечение автоматизированной эксплуатации | Фильтрация, компенсация теплового дрейфа, интегрирование импульсов, неопределенность по GUM | Формирование кривых тяги научного уровня и отчетов по показателям производительности |
| Экспериментальная среда и адаптация | ||
| Вакуумная и рабочая поддержка | Вакуумная система уровня Pa, модули хранения и подачи Xe/Ar/Kr | Оценка наземной производительности двигателей, прикладные эксперименты с плазменными источниками |
| Монтаж и адаптация фланцев | Специализированная оснастка, переходные интерфейсы, блокировочная связь | Быстрое развертывание в существующих вакуумных камерах или на плазменных испытательных платформах |