Решение объединяет продукты и услуги для одной цели испытаний

Решение начинается с вашей цели испытаний. Оно объединяет диагностические приборы, калибровку, сбор данных, системную интеграцию и технические услуги для одной задачи.

Диагностика факела · Измерение тяги · Наземные испытания

Электрореактивная тяга

Объединяем диагностику факела и измерение микротяги в одной испытательной системе.

Сквозная цепочка измерения микротяги и диагностики факела для наземных EP-испытаний.

КОМПЛЕКТ ОБОРУДОВАНИЯ

Зонды ЛенгмюраЗонд Фарадея / чашка ФарадеяАнализатор энергии ионов (RPA / RFEA)ExB-зонд / фильтр Вина / селектор скорости частицСтенды микротяги

ВОЗМОЖНОСТИ СИСТЕМЫ

Измеряем параметры факела, энергию ионов, зарядовые состояния и плотность тока.
Измеряем стационарную и переходную микротягу.
Объединяем калибровку, перемещение, сбор данных и анализ.

Связаться с технической командой Открыть детали

Травление · Осаждение · Диагностика камеры

Полупроводниковое производство

Измеряем плазму в камере и сравниваем условия процесса.

Трассируемая диагностика плазмы для процессов травления, осаждения и очистки.

КОМПЛЕКТ ОБОРУДОВАНИЯ

Зонды ЛенгмюраЭмиссионная спектроскопия OESСбор данных

ВОЗМОЖНОСТИ СИСТЕМЫ

Измеряем параметры электронов и спектр излучения.
Сравниваем состояние камеры в разных рабочих точках.
Подбираем конфигурацию зондов и оптических каналов для каждой камеры.

Связаться с технической командой Открыть детали

Ионные пучки · Тонкие плёнки · Равномерность

Модификация поверхности

Измеряем энергию, ток и равномерность пучка до обработки поверхности.

Оптимизация ионных источников и технологических окон для стабильного результата.

КОМПЛЕКТ ОБОРУДОВАНИЯ

Зонд Фарадея / чашка ФарадеяАнализатор энергии ионов (RPA / RFEA)ExB-зонд / фильтр Вина / селектор скорости частицИонные источники Кауфмана и Холла

ВОЗМОЖНОСТИ СИСТЕМЫ

Настраиваем ионные источники и вакуумные интерфейсы.
Измеряем ток и равномерность пучка.
Измеряем энергию и зарядовые состояния ионов.

Связаться с технической командой Открыть детали

R&D СИСТЕМНАЯ ИНТЕГРАЦИЯ · АНАЛИЗ ДАННЫХ

Лабораторные платформы · Комплексные измерения · Разработка методов

R&D

Объединяем диагностическое оборудование, программное обеспечение, перемещение и анализ в одной лабораторной платформе.

Повторно используемые диагностические workflows и аналитика для исследовательских платформ.

КОМПЛЕКТ ОБОРУДОВАНИЯ

Контактная диагностикаOES / LIF / томсоновское рассеяниеИсточники плазмыИспытательные платформы

ВОЗМОЖНОСТИ СИСТЕМЫ

Разрабатываем архитектуру системы.
Объединяем контактную и оптическую диагностику.
Интегрируем перемещение, сбор данных и анализ.

Связаться с технической командой Открыть детали

ТЕХНИЧЕСКОЕ ОБСУЖДЕНИЕ

StarThermaTech поставляет диагностическую систему для ваших измерений

Свяжитесь с нашей командой для выбора приборов, проектирования системы и получения услуг по испытаниям.

Связаться с технической командой