Карта сайта
Основные страницы
Решения
- Решение для электрореактивной тяги
Микротяга, диагностика шлейфа и интегрированный контур валидации
- Решение для полупроводникового производства
Мониторинг и оптимизация плазмы для травления, осаждения и очистки
- Решение для модификации поверхности
Оптимизация источников и параметров для стабильной обработки
- Решение для R&D
Стандартизированные диагностика и data workflow для исследовательских платформ
Контактная диагностика
- XHINS-LP зонды Ленгмюра
Одиночные/двойные/тройные/эмиссионные зонды для измерения плотности электронов и температуры
- XHINS-FP зонд Фарадея / чашка Фарадея
Измерение плотности и распределения ионного тока в шлейфе
- XHINS-ExB зонд / фильтр Вина / селектор скорости частиц
Измерение распределения энергии и скорости ионов
- XHINS-RPA анализатор энергии ионов (RPA / RFEA)
Измерение распределения энергии ионов и угла расходимости шлейфа
Оптическая диагностика
- XHINS-OES эмиссионная спектроскопия
Спектр излучения плазмы, плотность частиц, температура возбуждения
- XHINS-LIF лазерно-индуцированная флуоресценция
Распределение скоростей и температура ионов/нейтралов
- XHINS-TS томсоновское рассеяние
Высокоточная диагностика электронной плотности и температуры
Плазменные источники
- XHINS-KIS источник Кауфмана
Решеточный ионный источник (DC) для травления и нанесения покрытий
- XHINS-HT холловский двигатель
Ключевой элемент ЭРД с высоким удельным импульсом и ресурсом
- XHINS-RFIS РФ плазменный источник
РФ-связанный источник для обработки поверхностей
- XHINS-CA катодный дуговой источник
Высокая степень ионизации и энергичные ионные пучки для твердых покрытий
Стенды микротяги
- XHINS-TB крутильные весы для измерения тяги
Высокоточное измерение микротяги для испытаний двигателей
- XHINS-EMB электромагнитный тяговый стенд
Быстродействующее измерение тяги
- Калибровочные услуги
Калибровка тяговых стендов и плазменных зондов