Зонды Ленгмюра

Измеряет плотность электронов/ионов, температуру электронов, потенциал плазмы/плавающий потенциал и $EEDF$ через I–V сканы. Поддерживает цилиндрические/плоские/сферические зонды, RF-фильтр, охлаждение и 3D-позиционирование.

Ключевые особенности

• Измеряет $n_e$, $n_i$, $T_e$, $V_p$, $V_f$, $EEDF$
• Геометрии: цилиндр/плоскость/сфера
• Режимы сканирования: линейный/треугольный/ступенчатый, авто-скан и усреднение
• Материалы W/Mo/Ta; оболочки Al2O3/BN/кварц; платформа перемещения

‹

›

Симметричное смещение и измерение тока между двумя зондами для получения $n_e$, $n_i$, $T_e$ и $EEDF$ без привязки к земле. Подходит для атмосферных струй, плавающих систем и сильных помех.

Ключевые особенности

• Меньшая зависимость от земли, высокая помехоустойчивость
• Измеряет $n_e$, $n_i$, $T_e$; постобработка для $EEDF$
• Линейное/треугольное/ступенчатое сканирование, авто-режим
• Высокочувствительная токовая цепь и разные оболочки

‹

›

Три одинаковых зонда синхронно снимают $n_e$, $T_e$ в ходе разряда, подходят для импульсных процессов и транзиентов двигателей.

Ключевые особенности

• Синхронные 3 канала для импульсных/переходных процессов
• Меньше зависимость от полного I–V, быстрее выборка
• Поддержка внешнего триггера/синхронизации
• Высокая полоса и фильтры для улучшения SNR

‹

›

Эмиссионный зонд дает более точные $V_p$ и $T_e$; подходит для детальной карты потенциала. Поддерживает визуализацию карт потенциала/температуры.

Ключевые особенности

• Высокая точность $V_p$ и $T_e$
• Выше SNR и разрешение по потенциалу, чем стандартный LP
• Разные структуры/материалы для горячих и сложных потоков
• Визуализация карт потенциала/температуры

‹

›