Эмиссионная спектроскопия (OES)
Бесконтактная спектральная диагностика для идентификации частиц и оценки температуры/плотности, подходит для онлайн-мониторинга и исследований.
Ключевые особенности
- Неинвазивно, не нарушает плазму
- Идентифицирует атомы/молекулы/ионы и оценивает температуры, плотности
- Реальное время для контроля процессов и конечной точки
- Низкая стоимость и простая интеграция, авто-отчеты
Ключевые характеристики
| Параметр | Значение |
|---|---|
| Диапазон волн | 200 – 1100 нм (кастом) |
| Спектральное разрешение | Лучше 0.1 нм (зависит от решетки/щели) |
| Детектор | Высокочувств. CCD/CMOS (линейный/матричный) |
| Волоконный интерфейс | SMA905 |
| Софт | Идентификация линий, анализ интенсивности, оценка температуры, экспорт |