Ретардирующий анализатор потенциала (RPA / RFEA)
Измеряет распределение энергии ионов и поток для анализа шлейфов, травления и спектров поверхностной обработки.
Ретардирующий анализатор (XHINS-RPA)
Высокое разрешение по энергии и ионному потоку
Перестраиваемая ретардирующая сетка и энергия-селективный коллектор измеряют и поток, поддерживая ступенчатое/линейное сканирование и малошумную электронику. Подходит для низких/высоких потоков, шлейфов двигателей и оценки спектров процессов.
Ключевые особенности
- Измерение и ионного потока
- Настраиваемая ретардирующая сетка (ступень/линейное сканирование)
- Малошумный тракт от pA до mA
- Охлаждение/высокомощные варианты, легко сочетать со сканированием или массивами
Ключевые характеристики
| Параметр | Значение |
|---|---|
| Диапазон энергии | 0 – несколько кэВ (верхняя граница по заказу) |
| Диапазон токов | pA – mA (высокая точность) |
| Энергетическое разрешение | ≤ 1 эВ (зависит от сетки) |
| Интерфейсы | KF / CF / кастомные фланцы |