Ионные пучки · Тонкие плёнки · Равномерность
星焓科技StarThermaTech
Модификация поверхности
Для покрытий, травления, активации и ионно-лучевой обработки мы поставляем диагностику процесса, развертывание интерфейсов, настройку параметров, оптимизационный анализ и выдачу результатов.
Ионные пучкиТонкие плёнкиРавномерность
Диагностическая система связывает объект испытаний с целевыми данными
Система объединяет диагностические приборы, инженерные интерфейсы, управление перемещением и временем, сбор данных, калибровку, анализ и технические услуги.
Ионно-лучевые и технологические измерения
- Анализ распределения энергии ионов
- Измерение пучка и плотности тока
- Мониторинг излучения и состояния поверхности
- Позиционирование образцов и сканирующая механика
Управление и сбор данных
- Синхронизация питания и газовой части
- Многоканальный сбор
- Прослеживаемость процесса
- Мониторинг рабочего состояния
Инженерная интеграция
- Адаптация камеры и оснастки
- Проектирование фланцев и оснастки
- Интерфейсы питания, газа и кабелей
- Монтаж на площадке и защитные межблокировки
Данные и сервис
- Извлечение параметров и сравнительный анализ
- Оптимизация технологического окна
- Формирование отчетов
- Учебные материалы и поддержка обслуживания
Калибровка и наладка соединяют все модули системы
- Базовые параметры процесса, сравнительные таблицы, рекомендации по оптимизации
- Параметрические кривые, технологические окна, записи верификации
- Пояснения по интерфейсам, записи пусконаладки, рекомендации по внедрению
Подходящие технологические проекты
01
Оптимизация покрытий и тонких пленок
- Ключевые показатели
- Энергия ионов, равномерность пучка и сравнение с результатами по скорости осаждения и адгезии
- Подходящие сценарии
- Разработка пленок, перенос процесса, контроль согласованности партий
- Результаты поставки
- Базовые параметры процесса, сравнительные таблицы, рекомендации по оптимизации
02
Травление и активация поверхности
- Ключевые показатели
- Угловое распределение, поток ионов и сравнение с результатами по скорости удаления и поверхностной энергии
- Подходящие сценарии
- Разработка предобработки, активация интерфейсов, проверка селективного травления
- Результаты поставки
- Параметрические кривые, технологические окна, записи верификации
03
Интеграция диагностической системы и технологической платформы
- Ключевые показатели
- Подбор диагностического оборудования, компоновка оснастки, вакуумные интерфейсы, стабильность работы
- Подходящие сценарии
- Ввод нового оборудования, модернизация платформ, проверка масштабирования
- Результаты поставки
- Пояснения по интерфейсам, записи пусконаладки, рекомендации по внедрению
Порядок реализации
Техническая команда подтверждает цель, проектирует систему, соединяет интерфейсы, калибрует приборы, выполняет анализ данных и готовит результаты поставки.
- 01
Подтверждение целей процесса
Уточняются тип подложки, целевая пленка или функция поверхности, окно обработки, число образцов и ключевые показатели.
Цели процесса и ограниченияПеречень образцов и режимов - 02
Проектирование решения и развертывание интерфейсов
Определяются диагностическая цепочка, позиции оснастки, траектория сканирования, вакуумные и силовые интерфейсы.
Диагностический планОписание интерфейсовКонтрольный список развертывания - 03
Калибровка пусконаладка и выполнение процесса
Выполняются подтверждение базовых параметров, проверка стабильности источника, испытания образцов и повторная верификация.
Калибровочные записиБазовые параметры процессаПакеты исходных данных - 04
Анализ параметров и передача оптимизации
Проводятся извлечение ключевых параметров, сравнение образцов, настройка технологического окна и выпуск итогового отчета.
Параметрические отчетыРекомендации по оптимизацииЭксплуатационные инструкции и рекомендации по поддержке
Поставка данных и системы
Поставка включает конфигурацию системы, данные об интерфейсах, записи калибровки, исходные данные, отчёты, инструкции и технические услуги.
Проектное описание и перечень конфигурации точек измерения
Определяются область внедрения, схема измерений и логика конфигурации.
Пояснения по вакуумным интерфейсам и оснастке
Документируются подключения камеры, ограничения оснастки и требования к установке.
Калибровочные записи и базовые параметры процесса
Предоставляются базовые параметры, пути калибровки и записи проверки.
Пакет исходных данных и таблица сравнения образцов
Передаются исходные данные, правила именования и таблицы сравнения образцов.
Отчет по анализу параметров и рекомендации по оптимизации
Сводятся ключевые параметры, изменения процесса и выводы по оптимизации.
Эксплуатационные инструкции учебные материалы и рекомендации по обслуживанию
Включают руководство по эксплуатации, регулярные проверки и последующие рекомендации по обслуживанию.
ТЕХНИЧЕСКИЕ УСЛУГИ
Поддержка внедрения
Поддержка пусконаладки на площадкеПоддержка повторной проверки образцовУдаленное или очное взаимодействие
КОМПЛЕКТ ОБОРУДОВАНИЯ
Диагностические приборы в составе системы
ТЕХНИЧЕСКОЕ ОБСУЖДЕНИЕ
Диагностическая система для целевых данных
Передайте объект испытаний, целевые параметры и условия площадки. Техническая команда подготовит конфигурацию системы, интерфейсы, метод калибровки, формат данных и план внедрения.