接触式診断装置
プローブをプラズマに直接挿入し、主要パラメータを計測。
- 電子密度 ()、イオン密度 ()
- 電子温度 ()
- イオン電流密度の空間分布
- 価値：面倒な立ち上げ作業を省き、核心課題に集中できます。
- カスタム対応：特殊条件にも最適なソリューションを提案します。
- サービス：充実したトレーニングと迅速なサポートで長期安定を保証。
- 専門性：電気推進・プラズマ診断に精通し、大学・研究機関・企業で採用実績あり。
ターンキー・すぐに計測
ハードとソフトを統合・校正済みで提供。標準化インターフェースにより電源投入後すぐ測定可能。
多次元の計測手段
接触式と光学診断を網羅し、密度・温度・電位・スペクトル・粒子流量など主要パラメータを取得。
高度なカスタム適合
構造・材料から後処理アルゴリズムまで柔軟に最適化し、装置/プラットフォームへ確実に適合。
ライフサイクル支援
詳細な導入トレーニングと迅速な保守・アップグレード対応で長期安定運用を支援。
主要性能パラメータ一覧
光学診断
自発光や光・物質相互作用を用いた遠隔計測。高い選択性と時空間分解能。
- 種別判定
- 速度分布 (VDF / IVDF)
- 電子温度 ()
プラズマ源
研究用・地上試験・エッチング/材料ライン向けに、ビーム調整・グリッド光学・中和器を含む安定なイオンビームを提供。
- エネルギー：50–1500 eV（カスタム可）
- 放電電圧：150–600 V（標準）
- 周波数：13.56 MHz（カスタム可）
マイクロ推力計
小推力スラスタ・プラズマ源向け推力計。プラットフォーム、校正ツール、試験ソフトを含み真空・長時間試験に対応。
- 分解能 / ゼロドリフト抑制
- 力フィードバックの直線性
- 不確かさモデル