典型課題
- 膜特性のばらつきが工程ごとに発生しやすい。
- イオン能量/角度分布の定量フィードバックが不足。
- スケールアップ時のパラメータ結合が複雑。
ソリューション
表面改質ソリューション
基材・膜特性に応じてイオンエネルギー、フラックス、均一性を最適化します。
提供内容
- イオン源・能量・電流密度を組み合わせた工程指紋化。
- 反演結果から実行可能な調整レンジを提示。
- 材料系切替時の実験計画を高速化。
推奨製品構成
試験条件に合わせた設計が必要ですか？
目標パラメータと制約をご共有ください。実行可能な導入提案を返します。