ホール源
低電力で安定したホールビーム。実験室、小推力、工業ビーム用途に適合。
ホール源（Low-power, ~200 W）
低電力で容易に統合できる安定ソース
約 200 W、陰極付きで陽極 150–350 V を調整可能。推奨 Xe、Ar/Kr も選択可。小型推力試験、台架検証、表面処理ビーム供給に適します。
主な特長
- 低電力動作で実験室・小型プラットフォーム向き
- 陽極 150–350 V を可変
- Xe（推奨）、Ar/Kr に対応
- フランジ/インターフェースをカスタムし診断統合が容易
主な仕様
| 項目 | 仕様 |
|---|---|
| 定格電力 | 約 200 W |
| 陽極電圧 | 150–350 V |
| 工質 | Xe 推奨、Ar/Kr オプション |
| インターフェース | KF / CF / カスタム |