カウフマンイオン源
惰性/プロセスガスに対応した成熟ビーム源。研究・工業用途に適合。
カウフマンイオン源 XHS-KFIS
安定かつカスタム性の高いイオンビームソリューション
表面処理や蒸着、推進器試験台に向けたイオン源。複数ガス、可変抽出/加速電圧、中和器・冷却オプションにより長時間運転と診断に対応します。
主な特長
- Ar / Xe / N₂ など複数ガスに対応
- 抽出・加速電圧を可変、プロセススキャンが容易
- 中和器・冷却をオプションで追加し長時間運転に対応
- ビーム径やフランジをカスタムし真空/診断統合を容易に
主な仕様
| 項目 | 仕様 |
|---|---|
| エネルギー範囲 | 数十 eV – kV クラス（カスタム可） |
| ビーム電流密度 | mA/cm² クラス（スポット/開口に依存） |
| インターフェース | KF / CF / カスタムフランジ |
| 冷却 | パッシブ / 強制冷却オプション |