Катодно-дуговой источник (XHS‑CAIS)
Твердые металлы, высокая ионизация и высокий поток для покрытий и поверхностей.
Катодно-дуговой источник XHS‑CAIS
Высокопоточный металлический пучок, сменные катоды
Испаряет и ионизирует металлический катод, создавая высокопоточный ионный пучок для пленок, модификации поверхности и исследований. Компактный, со сменными катодами, охлаждением и настраиваемыми параметрами процесса.
Ключевые особенности
- Разные металлические катоды (Cu/Ti/Al и др.)
- Высокий поток металлических ионов для напыления/модификации
- Модули замены катодов и охлаждения для долгой работы
- Совместим с диагностикой Faraday/RPA/LP
Ключевые характеристики
| Параметр | Значение |
|---|---|
| Материалы | Разные металлы (кастом) |
| Плотность тока | До mA/см² (зависит от апертуры/режима) |
| Охлаждение/ресурс | Принудительное охлаждение / сменный катод |
| Интерфейсы | KF / CF / кастомные фланцы |